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【我国新一代光刻机模型亮相】金色财经报道，11月5日至10日，第九届中国国际进口博览会在上海举行。会上，一系列重磅科技亮相。上海微电子装备集团携自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻…
金色财经·2026-11-08 17:16 GMT+8
【我国新一代光刻机模型亮相】金色财经报道，11月5日至10日，第九届中国国际进口博览会在上海举行。会上，一系列重磅科技亮相。上海微电子装备集团携自主研发的新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800（模型）亮相中国馆，展示我国前道光刻装备自主化的阶段性成果。据悉，目前国产前道干式光刻机成像性能已与国际同类领先产品水平相当，套刻精度、生产效率紧密追赶国际标杆。（上证报）
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